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HDWG型SF6氣體定量檢漏儀其原理為：空氣中含有的六氟化硫氣體濃度變化時，該混合氣體在高頻電磁場的作用下其電離的程度也將不同，通過檢測電離度即可反映六氟化硫濃度。

HDWG-III型SF6氣體定量檢漏儀操作步序及使用方法
1、插上電源，打開“電源開關”， 此時可聽到電機的起動聲.
2、真空泵啟動１０分鐘后（環境溫度低于7℃時應運轉15---20分種），打開“檢測開關”如果在探頭上方的窗口內可看到微弱的暗紫色激發光(即“起輝”)，且液晶顯示屏下側基數值接近該儀器槍頭上所標數值時則可以開始測量。(開機后顯示屏中間大數值為實時檢測的SF6氣體濃度,不需要再查表,下方小數值為基數值,此基數值只作為儀器穩定性的參考.)
3、如果不“起輝”，則可用手指堵住探頭（針閥）的進氣口，以提高真空系統的真空度。如堵住探頭后的10秒內仍不“起輝”，待10分鐘后在再堵住探頭后的10秒內，否則將損壞有關電子器件。
4、開機６０秒儀器將自校準取零點,如６０秒內沒能取到零點,則將手持探頭在空氣中，按“確認”鍵，取零點。
5、１０分鐘后,在儀器達到一定的真空度,基數值基本穩定后,將探頭移至被檢處，如果有氣體泄露，此時液晶顯示屏上的讀數增大，顯示體積比濃度。
6、按“ ”鍵設置報警點，當測量的體積比濃度大于報警點,儀器將發出滴滴的報警聲.